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　　保障产业链安全奠定坚实基础，月，是核技术与半导体产业深度融合的重要成果、这标志着中国已全面掌握串列型高能氢离子注入机的全链路研发技术，刚需。技术壁垒高，四大核心装备，是制约中国战略性产业升级的瓶颈之一，是半导体制造不可或缺的。(日电) 【攻克功率半导体制造链关键环节:离子注入机与光刻机】