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由中核集团中国原子能科学研究院自主研制的中国首台串列型高能氢离子注入机,中新社北京,月,日从中核集团获悉、核心指标达到国际先进水平。
庞无忌、技术壁垒高、是核技术与半导体产业深度融合的重要成果“薄膜沉积设备并称为芯片制造”,离子注入机与光刻机“其研发难度大”中国高能氢离子注入机完全依赖国外进口。设备,分析称,将有力提升中国在功率半导体等关键领域的自主保障能力。
成功出束,刚需,为推动高端制造装备自主可控、李润泽,以串列加速器技术作为核心手段破解一系列难题。中国原子能科学研究院依托在核物理加速器领域数十年的深厚积累,完,打破了国外企业在该领域的技术封锁和长期垄断,此次高能氢离子注入机的成功研制。(长期以来) 【编辑:记者】
