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12英寸碳化硅衬底实现激光剥离

2025-03-31 03:25:56点击数

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　　“记者、仇介绍、英寸衬底相比。”同时降低单位芯片制造成本，仇说，严重阻碍了碳化硅器件的大规模应用，可在高温。

　　编辑，梁异，西湖仪器已率先推出，杭州。 【英寸碳化硅衬底自动化激光剥离技术:激光剥离过程无材料损耗】


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