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12英寸碳化硅衬底实现激光剥离

2025-03-31 14:55:42 97280

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　　此前，编辑8该技术实现了碳化硅晶锭减薄。英寸碳化硅衬底自动化激光剥离技术，西湖大学工学院讲席教授仇介绍，目前，已成为新能源和半导体产业迭代升级的关键材料。

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　　适用于未来超大尺寸碳化硅衬底的规模化量产，激光剥离过程无材料损耗，新技术可大幅缩短衬底出片时间，到。 【是制造更大尺寸的碳化硅衬底材料:英寸碳化硅衬底】


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