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日电,离子注入机与光刻机,中新社北京、庞无忌,中国原子能科学研究院依托在核物理加速器领域数十年的深厚积累。编辑,技术壁垒高,将有力提升中国在功率半导体等关键领域的自主保障能力,李润泽。(四大核心装备) 【记者:中国高能氢离子注入机完全依赖国外进口】
